高精度测量：测量显微镜能够提供微米级甚至亚微米级的测量精度，适用于对尺寸精度要求极高的场合。

多功能性：测量显微镜通常具备多种测量功能，如长度、宽度、高度、角度、面积等的测量。

高分辨率成像：通过高倍率的物镜和目镜，测量显微镜能够提供清晰的样品图像，便于观察和测量。

灵活的调焦系统：测量显微镜通常配备有粗调和微调焦轮，可以方便地调整焦距，以获得清晰的图像。

精密的坐标移动系统：工作台具有X、Y、Z三轴的精密移动功能，可以准确移动样品的位置，进行多点测量。

多种照明方式：测量显微镜通常具备多种照明方式，如透射光、反射光、斜照明等，以适应不同样品的照明需求。

数码图像输出：现代测量显微镜可以配备数码摄像头，将显微镜下的图像实时传输到计算机，便于图像分析和数据记录。

自动化和智能化：一些高端测量显微镜具备自动化测量功能，可以通过软件控制显微镜的移动和测量过程，提高测量效率和准确性。

模块化设计：测量显微镜的设计通常具有模块化特点，可以根据用户需求添加或更换不同的功能模块，如偏光、微分干涉等。

适用性广：测量显微镜广泛应用于电子、半导体、精密模具、材料科学、生物医学等领域，适用于各种微观结构的尺寸测量。

操作简便：尽管测量显微镜具有高精度和复杂的功能，但现代设计使其操作更加简便，用户可以快速上手。